在 CMP(化學機械研磨)製程中,Slurry(研磨液)的品質決定了晶圓的生死。然而,最令人頭痛的往往不是常規顆粒,而是那些極易造成微劃傷的團聚性粒子,其中可能含有結晶類異常顆粒(Crystal-like)!
傳統檢測方式耗時,且難以捕捉這些微量卻致命的汙染源。今年在 SEMICON 展場,我們將重磅推出 Imager S100 實機 Live Demo!現場示範如何在 5 分鐘內完成快速、高準確度的類 Slurry 檢測與分析。
💡Imager S100 現場實機展示亮點
極速 5 分鐘 | 現場直擊 Sample 從進樣到數據產出的全過程
精準視覺化 | AI即時分類常見四大類汙染源(Solid、Soft、Aggregation、Bubble-like)
良率提升 key point | 提供即時、可量化的微污染風險評估
👇場次(9/2~9/4)
- 上午場
10:30–11:00 | 11:00–11:30 ( 9/3 無開放上午場 ) - 下午場
14:00–14:30 | 14:30–15:00 | 15:00–15:30 | 15:30–16:00
展覽日期|2026年9月2日-9月4日
展覽地點|台北南港展覽館4F
展覽攤位|M0234(邑流微測)
無論您是 CMP 製程工程師、研發專家還是品管主管,這 5 分鐘將為您的廠內品質控管帶來全新的思維與突破!


